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半导体电子厂 · 常见误区纠正

半导体电子厂用PP喷淋塔,这四个误区先破了再选型

发布于 2018-07-02 09:28 · 关键词:PP喷淋塔 · 全文约 923 字,阅读约 2 分钟

半导体电子厂的湿法工序废气,酸性气体、氨气、有机溶剂气体常常混在一起排出,PP喷淋塔是最常被点名的处理设备。但从材质耐受性到并联使用,行业里流传的几个说法,一大半经不起推敲。

PP材质真的扛得住硝酸、氢氟酸废气吗?

PP对大多数无机酸碱有很好的耐受性,这是它被大量用在酸雾塔上的原因,但不代表遇酸不侵、一劳永逸。氢氟酸废气浓度较高、又伴随一定温度时,普通PP在长期接触下仍会出现表面轻微溶胀,塔体设计寿命会打折扣。含氢氟酸工序的排风,通常需要在塔体关键部位加厚壁厚、选用改性PP或衬里增强,而不是拿处理普通酸雾的标准塔直接套用。

喷淋塔能不能顺便把产线里的有机废气也处理掉?

喷淋塔靠气液接触把水溶性气体吸收掉,对氯化氢、氨气、大部分酸雾效果稳定,但对IPA、丙酮这类极性弱、水溶性差的有机溶剂废气,普通水洗或碱洗的吸收效率很低,多数情况下只能去掉一小部分。半导体厂如果显影、清洗工序有机溶剂用量大,喷淋塔后面通常还要接一级活性炭吸附或UV光氧,指望一座塔把两类性质完全不同的废气一起解决,验收时浓度大概率过不了关。

塔做得越高、填料层越厚,效果就一定越好?

不是。喷淋塔的吸收效果由气液比、填料层高度、气体在塔内的停留时间共同决定,三者要匹配着来。盲目加高塔身或加厚填料层,超过设计所需的部分不但不会提升吸收率,反而会让系统阻力显著上升,配套风机功率被迫加大,运行电费跟着涨。合理的做法是先核实实际风量和进口浓度,按气液比数值倒推塔径和填料层高度,而不是凭经验往大了做。

循环液是不是可以一直不换,攒够了再统一处理?

循环碱液或水洗液在吸收酸性气体的过程中pH值会持续下降,浓度低于设定阈值后吸收能力明显衰减,废气还没进塔就已经"漏网"。正确做法是装在线pH监测或定时人工检测,达到设定下限就自动或手动补碱、排放部分老化液,保持循环液始终在有效吸收区间,而不是等出了超标问题才想起来该换水了。

半导体电子厂工艺线多、废气性质差异大,选型这件事没有放之四海皆准的标准答案,济南金浩丰在做这类项目方案前,通常会先要一份各工序的废气成分清单,再逐条核对上面这几个误区有没有踩中,方案定下来之后返工的概率会低很多。

标签PP喷淋塔半导体电子厂酸雾治理选型误区

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