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半导体电子厂 · 常见误区纠正

半导体电子厂废气处理设备安装调试,这三个误区最常见

发布于 2020-11-14 08:43 · 关键词:废气处理设备安装调试 · 全文约 860 字,阅读约 2 分钟

半导体电子厂的废气系统,往往同时有酸性、碱性、有机溶剂几条管路分开收集,安装调试这个环节要是走过场,问题不会当场暴露,通常是投产几个月后才在某个批次里冒出来。下面这三个误区,是安装调试阶段最容易被简化掉的地方。

误区一:设备通电能转,就算调试完成

不少项目现场,安装队把设备装完、风机通电转起来,声音正常没有异响,就在交接单上签字确认「调试完成」。实际上调试是分层做的:先空载测试各风机运转电流是否在额定范围,再分系统单独试车,核对每条管路的走向和连接是否跟图纸一致——半导体厂酸性、碱性、有机废气必须严格分管路收集,一旦装反接错发生窜风,后果不是效率打折那么简单,可能是两种废气在管道里直接发生反应,腐蚀速度成倍加快。通电能转只是调试第一步,不是全部。

误区二:风机转起来,风量就一定达标

风机铭牌标注的风量是设计工况下的理论值,现场装完直接默认已经达到这个数字,是最常见的想当然。实际管路阻力跟设计值几乎不会完全吻合,弯头多绕一个、法兰垫片漏一点风,实测风量都会跟铭牌值有出入。调试阶段必须拿风速仪逐个罩口、逐条支管实测,通过调节平衡阀让每条支路都落在设计风量附近。济南金浩丰调试半导体厂项目时,这一步是标配流程——逐支管测风速调平衡阀,不是风机转起来听着声音正常就签字了事,尤其一条总管带多个分支的系统,某一路风量偏大,往往就是在拖累另一路风量不够,不测不调根本发现不了。

误区三:调试阶段不测浓度,等验收前再测

调试时手边没有检测仪器,或者赶工期,很多现场就先把系统跑起来,浓度的事留到环保验收前再单独找机构测一次。问题是调试阶段测到的风量、浓度数据,是后续判断设备有没有衰减、系统运行是否正常的基准——没有这组基准数据,以后活性炭穿透、喷淋液失效这类衰减问题没法对照判断严重程度。更关键的是,调试阶段如果测出浓度异常,往往还能通过调整管路、更换填料解决;等验收前才发现问题,系统早已定型投产,想改动就是大范围返工。

这三步要是都走扎实了,调试比验收严格,真到环保验收那天反而轻松。

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