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半导体电子厂 · 工艺对比评测

半导体电子厂滤筒除尘器和布袋除尘器怎么选,六条对比

发布于 2023-01-30 09:09 · 关键词:滤筒除尘器 · 全文约 793 字,阅读约 2 分钟

同样是靠滤材拦截粉尘,滤筒除尘器和传统布袋除尘器该怎么选,半导体电子厂的粉尘工况给出的答案跟一般工业车间不太一样。晶圆切割、研磨、抛光这类工序产生的粉尘细、干、量不算太大,选型时该看的不是价格表上哪个便宜,是下面这六条。

  1. 过滤精度:滤筒滤材是折叠式结构,同等占地下过滤面积能做到布袋的两到三倍,对亚微米级细粉尘的过滤效率更高,出口浓度更容易稳定压到每立方米十毫克以下,这一点对研磨、切割工序产生的细硅粉比较关键。
  2. 占地空间:滤筒除尘器体积小、结构紧凑,半导体厂洁净车间寸土寸金,同样处理风量下滤筒机型占地能省下三分之一到一半,这也是它在厂房改造项目里常被优先考虑的原因。
  3. 清灰方式:两者都能用脉冲喷吹清灰,但滤筒褶皱密集,清灰压力和喷吹频次没调好容易出现清灰不彻底、阻力持续攀升;布袋清灰行程长、相对彻底,但对风机功率和占地的要求更高。
  4. 粉尘特性适配:滤筒除尘器更适合干燥、非粘性、非纤维性的粉尘,半导体厂研磨切割产生的硅粉正好对路;如果车间粉尘含油雾或粘性成分,滤筒容易糊死,这种工况布袋或湿式除尘器更合适。
  5. 防爆与静电:硅粉、金属粉尘部分具有可燃性,滤筒除尘器箱体偏小、粉尘浓度容易局部积聚,防爆泄压装置、防静电滤材和可靠接地这几项必须核对清楚,不能因为设备体积小就简化安全配置。
  6. 更换成本:滤筒单个采购价比布袋贵,但用量少、更换工时短,综合下来对小风量精细过滤点位,滤筒的综合成本未必比布袋高,具体要按实际风量核算,不能只看单价。

把这几条摆在一起看,半导体电子厂选滤筒除尘器还是布袋除尘器,核心是先看粉尘干不干、粘不粘、要不要考虑防爆,而不是先比价格。济南金浩丰给半导体厂配过滤筒除尘器,也配过布袋机型,热线186 1558 6932,方案选型前我们通常会要一份现场粉尘取样,实测干湿度和粒径分布后再定型号,凭经验拍板容易踩坑。

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