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半导体电子厂 · 方案设计要点

半导体电子厂精密加工车间油雾净化器设计蹲点笔记

发布于 2024-06-29 10:52 · 关键词:油雾净化器 · 全文约 759 字,阅读约 2 分钟

上午九点进厂,这次要设计方案的是一间做结构件精密加工的车间,紧挨着后面的洁净装配区,中间只隔了一道防火卷帘门。车间里十几台数控机床常年用切削液做冷却润滑,高速切削时会产生大量细小油雾颗粒,管理方最在意的一点是这些油雾不能有一丝渗透到隔壁洁净区里去,这个约束直接决定了净化器的过滤精度不能按普通机加工车间的标准来选。

先在每台机床的集气罩出口测了一遍油雾浓度,实测数值在80-150mg/m³之间,波动主要和加工工序的切削参数有关,精加工工序转速高、油雾更细,浓度反而比粗加工工序低一些,但颗粒粒径更小,处理难度实际更大。这一点和最初以为的「浓度越高越难处理」不太一样,后来专门测了粒径分布,精加工工位产生的油雾颗粒有相当比例集中在1微米以下。

中午和车间负责人核对了方案思路:单纯用一级旋风分离肯定不够,那种结构对1微米以下的细颗粒基本没有分离效果,最终倾向于旋风预分离加高效聚结滤芯的两级结构,先把大颗粒和絮凝态油雾脱除一部分,减轻后级负荷,再靠聚结滤芯把细颗粒油雾捕集下来,出风浓度要求控制在5mg/m³以下才能满足邻近洁净区的管控要求。

下午重点看了设备摆放位置和管路走向,车间层高有限,风管不能走得太高,又要避开洁净区那侧的防火卷帘门轨道,最后把净化器主机安排在车间靠外墙一侧,缩短了主风管长度,也方便后续滤芯更换时不用占用车间中间的通道。检修口位置特意留在了操作通道一侧,方便日常巡检打开箱体检查滤芯饱和情况,不用每次维护都影响机床正常生产。

收工前把切削液的成分单也要了一份,油雾里裹带的添加剂成分会影响滤芯材质的选择和使用寿命,这项数据不摸清楚,光靠经验套用滤芯型号很容易出现和实际工况不匹配的情况。这趟蹲点整整记了一上午加一下午,比想象中琐碎,但这些细节漏一项,方案落地后返工的概率就会高一截。

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